一．探針長度對等效直徑的影響
相同的標稱針頭直徑，在觸發式測頭校驗時等效直徑是不同的，不要省略校測頭的過程，不要把針頭的標稱直徑作為已校準的針頭直徑輸入，也不要把短針頭的直徑輸入作為長探針的等效直徑，否則測量時會出現一個恒定的誤差。
二．探針長度對檢測精度的影響
測頭在垂直位置測量時，探針越長其三角形效應越明顯。當測頭探針水平放置應用時，由于探針重力的影響再加上在角形效應，探測精度可能各向無序排列。
三．不同測頭及不同加長桿對萬向探測系統重復性的影響
用一臺高精度測量機在恒溫間中作出，可以看到加長桿材料不同、長度不同會影響測量的重復性。
四．測頭觸測速度對測量精度的影響
五．多探針或旋轉測座測量誤差
多探針或旋轉測座本身的重復定位精度是微米級，可以忽略不計，測量誤差主要是由于測頭的三角形誤差及測頭偏置矢量誤差所造成，測頭的三角形誤差又是校驗測頭時產生的偏置矢量誤差的主要因素，要減少它的影響的方法是在校驗測頭時增加測點，以得到較準確的偏置矢量。
六．探測距離對測量精度的影響
當考慮到測量機的剛性，測量機的逼近距離對測量機的精度在一定范圍內有影響，改善的辦法是改進測量機的剛性或動態性能，或者選擇合適的探測距離。
如果一臺測量機動態性能不好，又用很小的探測距離，那么即使采點再多亦不能改善其精度。
七. 進行形狀測量時探針針頭直徑的選擇
測量機的機械測頭往往用球型探針針頭，探針針頭在進行形狀測量時往往起到機械濾波的作用。一般來說測量機用的探針針頭直徑應為婁0.5mm，這是由于機械睥原因，例如測量深孔時要避免探針針桿與零件接觸。另外一些測量機，例如應用光學測頭的測量機，可以應用非常小的探針針頭直徑。
一般來講，所應用的探針針頭直徑應盡可能小，應保持在極限值以下，即超過些極限值將產生機械濾波的作用，當然最小針頭直徑還是受探針針桿直徑的制約。
假設被測表面的波度是正弦形的，表達了下述幾種參數間的關系：
1） 每一轉的波動次數upr。
2） 波度的波形最大高度的預計值Wt。
3） 被測外圓或內孔的直徑D。
4） 不產生機械波作用的最大探針針頭直徑Dk。
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