根據三坐標測量機的維護周期可將三坐標日常維護分為每日、每月及每個季度的維護。
在完成保養步驟和糾正所有的偏差之前不要操作三坐標測量機。
檢測三坐標測量機中是否有松動或損壞的外罩，如果需要，請緊好任何松動的外罩，并修理任何損壞的外罩。
用酒精和干凈、不掉纖維的高支紗布清潔空氣軸承導軌滑動通過的所有裸露表面。
在對空氣過濾器、調節閥或者供氣管道執行任何保養之前，確保到測量機的供氣裝置已經關閉，并且系統氣壓指示為零。
檢查兩個空氣過濾器是否有污染。如果需要，清理過濾碗或者更換過濾器元件。
檢查供氣裝置是否存在松動或損壞。如果需要，緊固任何松動的連接并更換任何損壞的管道。
檢查三坐標測量儀外部，查看是否有松動或損壞的組件。視實際情況，緊固松動組件，替換或修理損壞的組件。
在對三聯體過濾器實施保養之前，一定要關閉供氣設備。
檢查三聯體過濾器是否積聚了過多的油和水。如果發現嚴重污染，可能需要附加的空氣過濾器和空氣干燥劑來減少過濾器中積聚的污染物總量。
拆除平衡支架的前罩，檢查傳動帶和傳動輪帶的磨損和破裂情況。必要時替換傳動帶和傳動輪帶。
在完成保養步驟和糾正所有的偏差之前，不要操作測量機。
只有經過培訓并通過審定的人員才能保養電氣組件。
在對控制系統和測量機進行下列任何保養之前，一定要關閉電源。
檢查控制系統內的污染物、松動或毀壞的布線。如果存在故障，必須對機器進行維修。
拆除它們的入口外罩，檢查氣動系統的管道，查看有無收縮和破裂。如果存在故障，必須對機器進行維修。
執行完季度保養清單的內容之后，通過運行簡單的測量機精度程序（測試重復性、量塊幾何尺寸、線性精度等）進行功能性檢查。
注意在對供氣系統進行任何保養工作之前，必須關閉氣源。在打開氣源前，過濾器必須牢固連接。
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