三坐標測量儀的測量儀由標尺系統和測頭系統組成,其中測頭系統又包含測頭和測頭附件兩大部分。
一、標尺系統,標尺系統是用來度量各軸的坐標數值的,目前三坐標測量儀上使用的標尺系統種類很多,它們與在各種機床和儀器上使用的標尺系統大致相同,按其性質可以分為機械式標尺系統(如精密絲杠加微分鼓輪,精密齒條及齒輪,滾動直尺)、光學式標尺系統(如光學讀數刻線尺,光學編碼器,光柵,激光干涉儀)和電氣式標尺系統(如感應同步器,磁柵)。根據對國內外生產CMM所使用的標尺系統的統計分析可知,使用最多的是光柵,其次是感應同步器和光學編碼器。有些高精度CMM的標尺系統采用了激光干涉儀。
二、測頭系統,三坐標測量儀是用測頭來拾取信號的,因而測頭的性能直接影響測量精度和測量效率,沒有先進的測頭就無法充分發揮測量機的功能。在三坐標測量機上使用的測頭,按結構原理可分為機械式、光學式和電氣式等;而按測量方法又可分為接觸式和非接觸式兩類。
為了擴大測頭功能、提高測量效率以及探測各種零件的不同部位,常需為測頭配置各種附件,如測端、探針、連接器、測頭回轉附件等。
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