幾十年以前，三坐標測量機在工業界僅是極少人知道，從60年代起，由于電子、計算機及傳感器等技術的發展，特別是氣浮軸承、光學線性尺和計算機這三項科技進步成果的出現，使三次元測量機具備了優越的測量功能?，F在的三坐標具備的測量功能已包括了尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度的測量等。相對于傳統測量儀器，三坐標測量機的優勢如下：
1、探測頭可以在空間沿X、Y、Z三個軸向移動，其們置以直角標或極坐標表示。
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