通常將三坐標測量機的幾何參數誤差按其在各運動自由度方向作用分類,分為3項位置度、6項直線度、9項角擺誤差、以及3軸相互之間的3項垂直度,共21項參數誤差。
21項誤差是三坐標的基本幾何誤差,為了保證其滿足示值誤差及探測誤差的要求,三坐標廠家都要測量和控制這21項誤差,必要時進行補償。
21項誤差的測量可以使用不同的測量儀器進行檢測以便于修正,包括雙頻激光干涉儀、電子水平儀、直角尺、高精度電感測微儀,但是,需要注意的是,使用上述儀器測量參數誤差時,測量結果可能是幾種參數誤差的綜合結果。
這21項中有:
1) X、Y、Z三個方向的位置度;
2)沿X、Y、Z三個方向運動時的六個直線(3X2);
3)沿X、Y、Z三個方向運動時自轉、俯仰、方向九個角擺;
4)X、Y、Z各軸間三個垂直度;
對水平臂測量機則為24項誤差,即加上水平臂伸出時的下垂量誤差。
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